为了进一步确定故障部位，伺服器维修时在系统接通的情况下，利用手轮少量移动Z轴(移动距离应控制在系统设定的最大允许跟随误差以内，防止出现跟随误差报警)，测量Z轴直流驱动器的速度给定电压，经检查发现速度给定有电压输入，其值大小与手轮移动的距离、方向有关。由此可以确认数控装置工作正常，确定伺服器维修故障原因是由于伺服驱动器的不良引起的。
主回路是最容易修复的，一般就是先整流，然后电容稳压，最后逆变，中间可能会有泄压保护回路（制动单元制动电阻之类），这些基本上都是模块为主的电路，更多是智能化IPM模块，坏了大都需要更换，不过主回路有问题后，一般都要先检查驱动板是否也跟着损坏了再决定换上新的模块上电，否则很容易因为驱动板故障引起新装上去模块的再次烧毁。 伺服马达维修分为机械、电气和磁场三类维修。机械类维修为轴承，外壳等修复，这些工作属于简单的维修处理，只要配备简单的拆卸工具就可以胜任，不过拆编码器时候要小心，因为出厂时候编码器有个零位置已经调整好，如果挪动的话，没有一定的技术功力是调不回去的。
电气类维修一般为绕线和处理编码器，绕线可以根据匝数和电流（铜线大小）来进行，并不复杂，处理编码器比较麻烦，如果没有配件，很多进口伺服马达编码器的零位置是走通讯的，换成其他品牌的如果没有特殊的处理也是没有用的，有一些是旋转变压器相对容易些，即使有配件，各种厂 家的对零方式也不尽相同，所以经验积累很重要了。 而且修复磁场并不容易，因为磁损耗是一种常见现象，没有专门的工具基本上不可能修复。总之，伺服电机的维护比伺服驱动器的维护更困难，目掌握这种维护技术。